钛在蒸散型吸气剂应用

蒸发的金属薄膜,总是比相应的致密金属的话性好,因为它们的面积是由大量微孔互利交错的颗粒所组成,具有较大的真表面积,因而增加了与气体接触的总面积。

在钡钛吸气剂中加入Fe203,钡是作为活性蒸散加时的还原反应,成为放热反应,而让蒸散过程中有内部放热源;至于不含Fe2O3。的吸气剂,则必须加大外界热源的热输出。

此外,钛本身可做为吸气剂,因而有助于吸气,又可实现以下的功能:

1)有助于更好的烧结,从而提高吸气剂的耐震性;

2)与铝生成具有高蒸发温度的化合物TiAl,因而减少了屏蔽钡镜面的铝膜;

3)由于钛有还原性质,使得在蒸散吸气剂的过程中,因钛的存在,而很容易将吸气剂合金分解,并因此降低了作为文撑吸气剂用的衬底的温度;在这种情况下,所形成的熔渣与基底粘接在一路不致散落在器件中,影响器件质量。

含钛吸气剂材料只有依附于镍、不锈钢、钼或钛制的衬底上,才能付之实用;实现的方法有:干粉压制法或膏浆法*。在(粉压吸气剂)和KPB型(环状蒸散型钡吸气剂)吸气剂中,以干粉压制法将活性物质压附于衬底之上;对于其他衬底结构的吸气剂(例如,压制有凹坑的带式吸气剂和有缝管式吸气剂),则采用膏浆法。膏浆形式有二:

一、湿式膏浆,以粘合胶剂为基础制成的膏浆;

二、干式膏浆,由合金粉末60%和含钛的粘结剂40%混合制成粉粒形式使用的。含钛粘结剂是由65%的钛与35%的粘结剂配合而成的粉剂。

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